ARC PVD
Mạ pvd bay hơi hồ quang điện ARC PVD :
Quá trình lắng đọng hồ quang cathode là một quá trình quy mô công nghiệp được sử dụng rộng rãi để áp dụng các lớp phủ màng mỏng chất lượng cao. Quá trình này dựa trên vật lý hồ quang catốt dòng điện cao, điện áp thấp tạo ra plasma dày đặc, ion hóa cao. Sự lắng đọng hồ quang cathode được đặc trưng bởi plasma được ion hóa gần 100% với các ion lắng đọng năng lượng tương đối cao.